Zurich Instruments
高解析度深能級瞬態譜 DLTS 測試分析系統
- 多種缺陷分析測試方法：支援 深能級瞬態譜（DLTS）、驅動電平電容分析（DLCP）、等溫電容瞬變譜（ICTS）、熱導納光譜（TAS） 測試。
- 多種 DLTS 測試方式與數學分析模型：包含 C-DLTS、I-DLTS、O-DLTS、D-DLTS、L-DLTS、DLTFS 等。
- tDOS 計算：支援 TAS 和 DLCP 測試。
- 參數掃描：支援 C-V、I-V、C-f、C-t、I-t 測試，可自動計算 內建電動勢（Vbi）、淨摻雜濃度（Ns） 等參數。
- 寬溫度範圍測試：4K~800K，溫度精度 ±100mK，適配 恆溫器（cryostat）與探針台（probe station）。
- 內建 Semi-Insight Studio 軟體：操作介面直觀，使用便捷，支援全自動化測試。
規格
